原子层沉积设备的零部件采购计划启动,但困难比预想的还要大。
陈静拿着采购清单,眉头紧锁:厂长,分子泵的供应商回复了,说最新的涡轮分子泵受出口管制,不能卖给我们。他们只肯卖老式的油扩散泵,但那个真空度不够。
流量控制器呢?
也一样。高精度的质量流量控制器,需要特别许可。普通的不够用。
真空腔体呢?
这个好一些,但能做高精度不锈钢真空腔体的厂家不多,交货期要两个月。
林凡听着汇报,面色凝重。科锐这一手,确实打在了七寸上。没有关键部件,原子层沉积设备就是一堆废铁。
韩博士,用低精度部件替代,行不行?他问。
韩博摇头:不行。原子层沉积的原理就是在原子尺度上控制薄膜生长,真空度不够,会有杂质;流量控制不准,薄膜厚度不均匀;腔体精度不够,温度场和气流场都会出问题。
那怎么办?
韩博沉默片刻,突然说:也许,咱们可以换个思路。
什么思路?
不做传统的原子层沉积,做改进版的。韩博拿起笔,在纸上画示意图,传统ALD需要超高真空和精密流量控制,是因为前驱体是气态的。如果咱们把前驱体改成液态,用喷墨打印的方式,一层一层喷上去呢?
喷墨打印?林凡眼睛一亮,你是说,像3D打印那样?
对,但精度要达到纳米级。韩博说,喷墨头要特别设计,液滴体积要控制在皮升级。前驱体溶液要高度均匀,挥发速度要精确控制。
这个技术,有现成的吗?
没有,得自己研发。韩博说,但好处是,对真空度要求大大降低,流量控制也简单,因为液体比气体稳定。难点在喷墨头和溶液配方。
林凡思考利弊。传统ALD技术成熟,但设备被卡脖子。新方案需要从头研发,风险大,但一旦成功,可能实现弯道超车。
值得一试。他拍板,韩博士,你带团队攻关喷墨打印方案。设备这边,我继续想办法,两条腿走路。
好。
韩博领命而去。林凡则开始思考更深层的问题。科锐能卡设备,是因为他们背后有美国的资本和技术支持。中国在高精密制造领域,确实还存在短板。这个短板,不是红星厂一家能解决的。但总得有人去做。
他想起了文明火种中关于精密制造的技术框架。虽然大部分内容还锁着,但基础原理已经解锁。或许,可以从中找到一些启发。
他闭目凝神,意识沉入系统。
精密制造技术树(基础部分已解锁)
超精密机床设计原理:静压导轨、空气轴承、激光干涉测量……
纳米级定位控制:压电陶瓷驱动、音圈电机、自适应算法……
材料热变形补偿:多传感器融合、实时建模、预测控制……
知识如涓涓细流,涌入脑海。林凡不是机械专业出身,但这些原理讲解得很透彻,结合他之前自学的一些知识,竟然能看懂七八成。
静压导轨,用高压油膜支撑,消除摩擦,他喃喃自语,这个技术,国内好像有企业在做。
他立刻上网搜索。果然,国内有几家机床厂在研究静压导轨,但精度还达不到国际顶尖水平。
如果能把火种中的原理与他们分享,或许能加速突破。林凡心想。但怎么分享?直接给图纸?不行,没法解释来源。只能通过合作,在交流中无意间提出一些思路。